中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所反應(yīng)離子刻蝕機(jī)招標(biāo)

發(fā)布日期：2022-04-26

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來(lái)源100%自籌資金。受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際招標(biāo)采購(gòu)。
1.招標(biāo)范圍
1.1貨物名稱：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
1.2招標(biāo)編號(hào)：
1.3設(shè)備組成及技術(shù)性能：
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1.3.2技術(shù)性能
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1.3.2.2上電極：上電極采用鉸鏈，開腔時(shí)無(wú)需將整個(gè)反應(yīng)腔升起；上電極中央配置用于原位檢測(cè)的光學(xué)窗口。
1.3.2.3射頻源：射頻發(fā)生器：頻率13.56MHz，功率≥600W；可預(yù)選和控制正向功率或直流偏置電壓；測(cè)量、顯示正向功率和直流偏置電壓。
1.3.2.4真空系統(tǒng)：反應(yīng)腔室配有前級(jí)泵及渦輪分子泵；采用防腐蝕渦輪分子泵，抽速≥340L/s；
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1.3.2.6預(yù)真空室Loadlock：配置氣動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)和透明上蓋，自動(dòng)、平穩(wěn)地裝卸樣品；配置單獨(dú)的干泵和真空計(jì)，本底真空≤10-1mbar；真空漏率<5×10-4mbar?L/s。腔室可單獨(dú)用氮?dú)獯祾摺?br />1.4數(shù)量：1臺(tái)（套）。
1.5交貨期：合同簽訂后8個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所。
2.對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格，提供有效的營(yíng)業(yè)登記等許可經(jīng)營(yíng)的證明文件。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書。
2.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格；接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
3.招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2022年4月26日至2022年5月6日17時(shí)(北京時(shí)間)。
3.2招標(biāo)文件售價(jià)800元，售后不退。


友情提醒：報(bào)名前與下方聯(lián)系人索取投標(biāo)登記表，以及辦理后續(xù)事宜。
聯(lián)系人：郝亮
手機(jī)：13146799092
郵箱：1094372637@qq.com
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